Sommario:
- Definizione - Che cosa significa sistema microelettromeccanico (MEMS)?
- Techopedia spiega il sistema microelettromeccanico (MEMS)
Definizione - Che cosa significa sistema microelettromeccanico (MEMS)?
Un sistema microelettromeccanico (MEMS) è un piccolo modulo meccanico azionato dall'elettricità. NEMS unisce computer con moduli meccanici come sensori, attuatori e specchi. Sono sistemi economici che utilizzano la tecnologia di fabbricazione di dispositivi modificata.
I MEMS hanno una varietà di usi e sono disponibili in una vasta gamma di approcci di progettazione di fabbricazione, sfruttando vari componenti, miniaturizzazione e nuovi sistemi elettromeccanici integrati standard. MEMS può essere utilizzato per l'attacco a umido come l'idrossido di potassio (KOA), l'attacco a secco come l'attacco a ioni reattivi profondi (DRIE), lo stampaggio e la placcatura, i macchinari a elettroerosione (EDM) e altre tecnologie che producono piccoli dispositivi.
Un sistema microelettromeccanico può anche essere indicato come un sistema microelettronico, una micromachina, una tecnologia di microsistemi o materia intelligente.
Techopedia spiega il sistema microelettromeccanico (MEMS)
I MEMS possono essere più piccoli della larghezza di un capello umano e possono includere diversi componenti come:
- microsensori
- microattuatori
- microprocessori
- Unità centrali per l'elaborazione dei dati
- Componenti per l'interazione con elementi esterni
I MEMS hanno un ampio rapporto tra superficie e volume e sono costruiti utilizzando la tecnologia di fabbricazione del silicio.
Un dispositivo MEMS include microcircuiti posizionati su un piccolo chip di silicio utilizzato con componenti meccanici. La tecnologia supporta una vasta gamma di dispositivi che controllano, rilevano o attivano processi meccanici mentre funzionano come array o singolarmente.
Attualmente, i MEMS comprendono un singolo microsensore o microacuatore distinto nella loro architettura, ma in futuro potrebbero verificarsi livelli più complessi di assimilazione. Il prossimo sviluppo potrebbe essere quello di incorporare molte caratteristiche individuali in un unico sistema.
