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Definizione - Cosa significa nanolitografia?
La nanolitografia è una branca della nanotecnologia e il nome del processo per imprimere, scrivere o incidere modelli a livello microscopico al fine di creare strutture incredibilmente piccole. Questo processo viene in genere utilizzato per creare dispositivi elettronici più piccoli e più veloci come micro / nanochip e processori. La nanolitografia viene utilizzata principalmente in vari settori della tecnologia, dall'elettronica alla biomedicale.Techopedia spiega la nanolitografia
La nanolitografia è un termine generico usato per descrivere vari processi per la creazione di modelli su scala nanometrica su supporti diversi, il più comune dei quali è il silicio materiale semiconduttore. Lo scopo principale della nanolitografia è la riduzione dei dispositivi elettronici, che consente di stipare più parti elettroniche in spazi più piccoli, ovvero circuiti integrati più piccoli che danno luogo a dispositivi più piccoli, che sono più veloci ed economici da produrre poiché sono necessari meno materiali. Ciò aumenta anche le prestazioni e i tempi di risposta perché gli elettroni devono percorrere solo distanze molto brevi.
Alcune tecniche utilizzate nella nanolitografia sono le seguenti:
- Litografia a raggi X - Implementata attraverso un approccio di stampa di prossimità e si basa sui raggi X vicino al campo nella diffrazione di Fresnel. È noto per estendere la sua risoluzione ottica a 15 nm.
- Doppio motivo: un metodo utilizzato per aumentare la risoluzione del tono di un processo litografico stampando motivi aggiuntivi tra spazi di motivi già stampati nello stesso livello.
- Litografia a scrittura diretta (EBDW) a fascio di elettroni - Il processo più comune utilizzato in litografia, che utilizza un fascio di elettroni per creare modelli.
- Litografia a ultravioletti estremi (EUV) - Una forma di litografia ottica che utilizza lunghezze d'onda della luce ultracorta di 13, 5 nm.
